1、真空泵的作业压强应当满意真空设备的极限真空及作业压强请求。如：真空镀膜请求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度最少要510-6mmHg。一般挑选泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

　　2、正确地挑选真空泵的作业点。每种泵都有必定的作业压强规模，如：分散泵为10-3~10-7mmHg，在这么宽压强规模内，泵的抽速随压强而改变，其安稳的作业压强规模为510-4~510-6mmHg。因此，泵的作业点应当选在这个规模之内，而不能让它在10-8mmHg下长期作业。又如钛提高泵能够在 10-2mmHg下作业，但其作业压强应小于110-5mmHg为好。

　　3、真空泵在其作业压强下，应能排走真空设备技术进程中发生的悉数气体量。

　　4、正确地组合真空泵。因为真空泵有挑选性抽气，因此，有时选用一种泵不能满意抽气请求，需求几种泵组合起来，互相补充才干满意抽气请求。如钛提高泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速，两者组合起来，便会使真空设备得到较好的真空度。别的，有的真空泵不能在大气压下作业，需求预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需求前级泵，故都需求把泵组合起来运用。

　　5、真空设备对油污染的请求。若设备严厉请求无油时，应当选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如请求不严厉，能够挑选有油泵，加上一些防油污染办法，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能到达清洗真空请求。

　　6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒尘埃，有无腐蚀性等。挑选真空泵时，需求知道气体成分，对于被抽气体挑选相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应当考虑在泵的进气口管路上装置辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

　　7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响怎么。假如环境不允许有污染，能够选无油真空泵，或许把油蒸气排到室外。

　　8、真空泵作业时发生的振荡对技术进程及环境有无影响。若技术进程不允许，应挑选无振荡的泵或许采纳防振荡办法。

　　9、真空泵的报价、运转及维修费用。